第100节(3/3)

目光如刀片般，似乎对计海的才能产生了?怀疑：“那些科研成果?真是?你的？”

计海连连：“当然都是?我的！郑总，您说我一个?搞科研的，怎么?得来应这事？”

如果?不?是?科研人员大多非袖善舞，郑河早踹开计海了?。

“虽然你搜来的消息都没用，不?过这也说明蓝河科技最近确实境艰难。”郑河脸缓和了?些，冷笑?着说：“蓝河科技拉不?到投资，革芯项目没人看?好，陈惊璆居然不?想办法?解决迫在眉睫的资金问题，而是?跑去各个?研究团队找他们合作攻破光刻机技术！”

“哈哈哈哈……”郑河摇，上摇晃着指嘲讽：“蠢！天真！果?然还是?太年轻！技术是?心没错，但这么?就是?缘木求鱼！”

攻破心技术哪有?那么?容易？

那些科研团队从立项到拿到资金再到解决关键技术问题并实现产业化，可都不?是?一朝一夕的事！

陈惊璆以为就他聪明、就他们想到这个?联合技术链的办法?？

单说那个?光刻机双工作台的心技术，11年获得国家02专项立项至今，思念过去了?还没结果?。

技术攻破首要是?资金，没有?资金学人开什么?公司？什么?技术开发？

凭那么?天真血的冲动想法?而忽略了?脚不?牢靠的基石，太蠢了?。

郑河如是?冷漠傲慢的想着，打发走计海，将消息简单汇报给陈天鹤。

陈天鹤正从私人专机上来，落到国的土地上。

“陈惊璆的事以后不?用跟我说。”陈天鹤冷漠的说。

他抬观看?这座灯火通明的城市——

加利福尼亚州圣迭戈市，通总。

陈天鹤此行?的目的。

***

光源系统是?光刻机制造的心，是?晶圆光刻工程的起始步，与光刻工程后续每一步息息相?关。

光源系统主要三?大单元是?光的产生、收集和均一化，初代?光刻机的光源系统还包括光的纯化，但第四代?、第五代?的激光产生的光源已经达到要求，只需要让光均匀化就行?。

光是?雕刻的工，由激光产生，涉及三?项技术指标即光刻分辨率、刻度和产能。

光刻分辨率有?一计算公式，照公式调整影响因?数从而提光刻分辨率，这方面难度不?大，但是?受掩设计、抗蚀剂工艺等牵制，必须同时?达到最佳化才能实现理想的光刻分辨率。