第103节(2/3)

“方案可行。”

雷客：“光源系统设备的研制需要专业级的工程师，蓝河科技恐怕人手不?足。后期组装也需要其他实验室的研究度跟得上。”

如果盛明安站在跟前，张群芳估计得对着他指指，他没好气?的说：“只?要是正儿?八经搞科研的，有成?果的，经费肯定会拨来?。”

杜颂吞咽，张问：“怎么样？”

但现?在?不?是兴的时候,仿真建模只是阶光刻机制造的第一步,接?来的设备组装、研制才是关键。

第66章 星晓[13] 红文件。

盛明安：“教授再见。”

后传来?一阵激动的呼声，不过很快压来?，众人纷纷看向没开的盛明安，他才是实验室的主?心骨，他了?才算实验成?功！

盛明安：“陈惊璆会解决这些问题。”

雷客屏住呼：“仿真实验结果和当?初预料结果一致，如无意外?，方案可行。”

“好了，忙去吧。”盛明安挥挥手

***

光有设计图纸,没有适合的材料、级工匠和研发设备那也是白搭。

不?仅仅是解决了复杂的光源系统,更意味着?他们可以组装?完整的阶光刻机系统，包括仿真建模里?，模拟?来的双工作台、反镜等?数据都可以应用！

上日?程，也标注了?是你提的方案。华科院那边提这工程时，顺便提了?一嘴你忙碌一年多的光刻机研发，上面多少留意到你们的革芯项目。”

通话结束，之后还有潘教授、朱教授等人打电话安盛明安，足见他们有多关心这棵天才苗了?。

组装、封装，启动激光，紫激光发，击中模拟锡滴，度等离发euv光源被收集镜捕获汇聚形成?光源，光源集中、传递至光刻系统，经光刻系统一系列步骤曝光晶片。

蓝河科技研发，一尘不染的恒温实验室，盛明安位于?主?位，后是雷客、杜颂等人，他们都穿着白防尘衣，攥拳牢牢盯住屏幕的光刻机仿真建模。

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euv光源系统现?实工作，激光发击中锡滴这一过程是每秒五万次，而在仿真建模中，为方便观察，数据比例修改后变成?可观测。

仿真建模观测一小时后，放大雕刻后的晶片，宛如一个个充满未来?的城市。

方案可行意味着?他们研发阶光刻机的方向是对的！

林成建等?人不?由担忧，研发资金捉襟见肘，新材料倒是可以找华电科，就是不?知那些新材料是否符合标准。

但不可避免的，他们此?刻的心脏仿佛被吊到嗓，张得几乎不能呼。

张群芳：“没什么事我挂了?。”

“……”张群芳：“有这么缺钱？”

盛明安：“缺研发资金。”

盛明安弯起：“谢谢教授。”

无数日?夜的数据优化?、改，从光源系统到光刻系统，从激光到复杂的双工作台，从反镜到晶圆等件材料，海量的数据和磅礴的公式计算，一千多个日?夜的心血全数系在这一刻！

这些问题一早就想到，那时盛明安让他们专心?攻克光源系统，以至于直到现?在?用到了才开始发愁。

盛明安盯着右手边的光屏，那是光源优化?仿真实验结果，结果表明优化?后的光源图形和收敛曲线与预料一致，说明——

就算新材料符合标准,度至米的反镜目前国没人造得?来。

科研人员只需负责研发工作就行。

闻言，杜颂的笑容僵住：“还有资金和材料,光源系统设备材料不?能用普通钢板，还有度严格的反镜怎么办？”

盛明安睁大，手指蜷起握成?拳，惊喜的问：“资金支持吗？”

无他，因为前的仿真建模是他们耗费三年、将近四年的成?果！